玻璃鍍膜的主要工藝有哪些？

      鍍膜玻璃的定義
 
      鍍膜玻璃是在玻璃表面涂鍍一層或多層金屬，合金或金屬化合物薄膜，或?qū)⒔饘匐x子遷移到玻璃表面層，以改變玻璃的光學(xué)性能，滿(mǎn)足某種特定要求的一種玻璃深加工產(chǎn)品。

      鍍膜玻璃的主要生產(chǎn)方法

      1,化學(xué)氣相沉積法
 
      化學(xué)氣相沉積(chemical vapour deposition, CVD) 是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物或單質(zhì)氣體，供給基板，利用氣相反應(yīng)，在基板表面上反應(yīng)沉積出所需固體薄膜的工藝技術(shù)，該技術(shù)已成為鍍膜玻璃生產(chǎn)的主要制備技術(shù)。
 
      在線(xiàn)CVD法鍍膜技術(shù)，是在浮法玻璃生產(chǎn)過(guò)程中，連續(xù)沉積化合物薄膜的CVD工藝技術(shù)，是目前世界上比較先進(jìn)的鍍膜玻璃生產(chǎn)技術(shù)。它是以潔凈、高速牽引(8-15m/min)、高溫(600℃)的浮法玻璃為沉積襯底。換言之，薄膜沉積前，玻璃襯底即將離開(kāi)錫槽但尚未進(jìn)人退火窯，且未被處理凈化。國(guó)外最早采用在線(xiàn)CVD法連續(xù)沉積Sn02薄膜，而我國(guó)最早是用該法生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃。目前，我國(guó)已基本掌握了在線(xiàn)CVD法鍍膜技術(shù)，能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)硅質(zhì)鍍膜玻璃、在線(xiàn)Low-E玻璃和在線(xiàn)自潔凈玻璃。在線(xiàn)鍍膜玻璃生產(chǎn)線(xiàn)如圖1所示。

      2，固體粉末噴涂法
 
      噴涂鍍膜技術(shù)是將一種或多種反應(yīng)氣體或有機(jī)金屬鹽化合物溶液的霧化顆?；蛴袡C(jī)金屬鹽粉末噴涂于熱玻璃表面而熱分解成膜的工藝方法。固體粉末噴涂法最初是由美國(guó)Ford汽車(chē)公司于20世紀(jì)80年代初應(yīng)用于浮法生產(chǎn)線(xiàn)上的一種鍍膜方法，固體粉末噴涂法的工藝流程如圖2所示。

      固體粉末噴涂法的鍍膜區(qū)一般設(shè)置在浮法玻璃生產(chǎn)線(xiàn)的過(guò)渡輾臺(tái)之后、退火窯之前的位置，也就是我們通常所說(shuō)的退火窯A0區(qū)。其基本原理是將一種或多種組分的有機(jī)金屬鹽粉末，借助壓縮氣載體通過(guò)特制噴槍噴涂于熱玻璃表面，利用有機(jī)金屬鹽的高溫?zé)岱纸?，在玻璃表面形成一層金屬氧化物薄膜，反?yīng)廢氣、未反應(yīng)的固體粉末以及參與反應(yīng)但并未在玻璃表面成膜的物質(zhì)經(jīng)收塵設(shè)備及時(shí)排出窯外，以保持玻璃表面和窯內(nèi)的清潔。鍍膜機(jī)組設(shè)備主要由伺服往復(fù)式自動(dòng)噴涂機(jī)、送料機(jī)、振動(dòng)喂料機(jī)、收塵系統(tǒng)構(gòu)成。其中，伺服往復(fù)式自動(dòng)噴涂機(jī)上安裝有噴槍?zhuān)瑖姌屖菍⒐腆w粉料噴涂于熱玻璃表面而成膜的重要裝置，其噴槍結(jié)構(gòu)、重量、噴涂角度等因素對(duì)噴涂效果能夠產(chǎn)生很大影響。

      3，真空蒸渡法
 
      真空蒸發(fā)鍍膜法（簡(jiǎn)稱(chēng)真空蒸鍍法，Vacuum Evaporation) 是指在一定的真空條件下，利用高溫加熱蒸鍍材料（金屬合金或金屬氧化物）到一定溫度條件下， 使其原子或分子從表面汽化逸出，形成蒸汽流，并飛行濺射到玻璃基板表面凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法，真空蒸發(fā)鍍膜原理如圖3所示。

      由于真空蒸鍛法的主要物理過(guò)程是通過(guò)加熱蒸發(fā)材料而產(chǎn)生，所以又稱(chēng)熱蒸發(fā)法。蒸發(fā)源作為蒸發(fā)裝置的關(guān)鍵部件，大多數(shù)蒸發(fā)材料都要求在1000-2000℃的高溫下蒸發(fā)。真空蒸鍍法按蒸發(fā)源的不同可分為電阻法、電子束蒸發(fā)法、高頻感應(yīng)法和激光蒸發(fā)法等。目前，采用真空蒸鍍法生產(chǎn)鍍膜玻璃的均是采用間歇式生產(chǎn)， 其工藝流程如圖4所示

      4，真空磁控濺射法
 
      磁控濺射法的生產(chǎn)方式包括間歇式和連續(xù)式生產(chǎn)法，其中連續(xù)式生產(chǎn)法又可分為水平和垂直連續(xù)式生產(chǎn)兩種。其中，水平連續(xù)式生產(chǎn)法是玻璃基片在水平輸送過(guò)程中完成全部加工工藝的生產(chǎn)方式，以具有3個(gè)濺射室的雙端機(jī)。
 
      磁控濺射鍍膜的優(yōu)點(diǎn)主要有：①心對(duì)靶材的面積和形狀不作要求，且可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜，且膜層均勻性好、膜厚可控、濺射工藝重復(fù)性好；②可用的膜材廣泛，只要能做成靶材的任何材料都可實(shí)現(xiàn)濺射，因此可制備絕大多數(shù)材料的薄膜，包括合金和化合物等；③薄膜與基片的附著力強(qiáng)，膜層純度高、致密；④成膜速度快，生產(chǎn)效率高。

      總結(jié)
 
      鍍膜玻璃的制備技術(shù)自20世紀(jì)70年代發(fā)展到現(xiàn)在，已經(jīng)形成了一套比較成熟和完備的技術(shù)體系。