"掃描二維碼，關(guān)注協(xié)會(huì)動(dòng)態(tài)"
采用磁控濺射法生產(chǎn)離線低輻射（Low-E）鍍膜玻璃，產(chǎn)品質(zhì)量依賴于膜層結(jié)構(gòu)和工藝參數(shù)的調(diào)整。單銀Low-E膜系結(jié)構(gòu)簡單，膜層材料少，工藝人員憑借長期總結(jié)的經(jīng)驗(yàn)，不需要依賴軟件模擬就可以調(diào)試出光學(xué)性能符合要求的產(chǎn)品。隨著人們節(jié)能意識(shí)和節(jié)能要求的提升，雙銀甚至三銀Low-E開始逐步取代單銀成為新一代中、高檔建筑幕墻使用的節(jié)能玻璃產(chǎn)品。但雙銀和三銀產(chǎn)品的膜系復(fù)雜，并且還伴隨有膜層不均勻、大角度色差等問題，調(diào)試過程不能單靠經(jīng)驗(yàn)，需要借助于軟件模擬對(duì)膜層結(jié)構(gòu)和工藝參數(shù)調(diào)試提供指導(dǎo)，而軟件模擬的前提是建立準(zhǔn)確的材料光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫。隨著材料科學(xué)和真空濺射等技術(shù)的發(fā)展，不僅對(duì)于雙銀和三銀Low-E產(chǎn)品，更對(duì)于其他一些高附加值的特殊光學(xué)薄膜而言，準(zhǔn)確提取膜層材料的光學(xué)常數(shù)都將起著關(guān)鍵性的作用。
2 提取光學(xué)常數(shù)的方法原理
光學(xué)常數(shù)的測(cè)量和提取方法有很多種[1]，如光切法、波導(dǎo)法、光譜法、橢圓偏振法等。其中光譜擬合法能同時(shí)得出薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)，再加上該方法對(duì)膜層的非破壞性，因此成為薄膜光學(xué)常數(shù)提取的主要方法。本文即是采用這種方法對(duì)低輻射玻璃膜層所用介質(zhì)材料SixNy和ZnAlOx的光學(xué)常數(shù)進(jìn)行提取。
圖1 多光束干涉
光譜法的理論基礎(chǔ)是薄膜干涉。當(dāng)光束照射到平行平面薄膜上時(shí)，在薄膜的上下表面發(fā)生多次反射[2]，因而產(chǎn)生一組反射光束和一組透射光束，如圖1所示。這些光束形成干涉效應(yīng)，最終影響薄膜的反射率和透射率。不同薄膜材料的特性不同，反射率和透射率值的大小不同。通過數(shù)學(xué)推導(dǎo)并結(jié)合麥克斯韋電磁場(chǎng)理論，可得到反射率和透射率與入射角、波長、膜厚、折射率之間的關(guān)系式。式1所示即為單層薄膜反射率的函數(shù)關(guān)系式，其中no、n和ng分別為入射介質(zhì)、膜層和基片折射率。由該式可看出，在設(shè)定波長范圍，固定入射角的條件下，反射率和透射率與薄膜的厚度（d）和光學(xué)常數(shù)（n）有著唯一對(duì)應(yīng)的關(guān)系，這就是光譜法提取光學(xué)常數(shù)的原理，該方法同時(shí)也可以得到薄膜的厚度。
（1）
另外，準(zhǔn)確計(jì)算反射率和透射率，還要考慮色散現(xiàn)象。即材料的折射率隨波長的變化關(guān)系。這與不同材料的晶體結(jié)構(gòu)、能態(tài)結(jié)構(gòu)等相關(guān)[3]。光學(xué)和材料學(xué)領(lǐng)域的學(xué)者結(jié)合電磁學(xué)理論、經(jīng)典物理學(xué)的偶極震蕩理論、材料本身的電子躍遷及量子理論，總結(jié)并改進(jìn)得到了許多模型[4-6]來描述不同類型材料的色散現(xiàn)象。例如Lorentz oscillator模型， Interband transitions模型，Drude模型等。
本文使用code薄膜設(shè)計(jì)軟件進(jìn)行模擬，根據(jù)軟件自身所帶的材料模型種類以及SixNy和ZnAlOx的光學(xué)特性，在380～2500nm范圍內(nèi)，均為其選擇Dieletric Background + Kim Oscillator + OJL Interband Transition的模型組合。在完成構(gòu)建材料模型和膜系結(jié)構(gòu)之后，以實(shí)測(cè)光譜數(shù)據(jù)為標(biāo)準(zhǔn)曲線進(jìn)行光譜擬合，從而提取光學(xué)常數(shù)和膜厚，最終通過比較擬合膜厚值與實(shí)測(cè)膜厚值來驗(yàn)證所提取光學(xué)常數(shù)的準(zhǔn)確性。
3實(shí)驗(yàn)部分
3.1樣片制備
樣片制備在沙河某條北玻SE2540磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線上完成。玻璃基片均采用南玻6mm白玻。使用1000mm×2440mm的半大片鍍膜，然后裁去邊緣，取中間部分裁成100mm×100mm小樣片以便實(shí)驗(yàn)室測(cè)試。為了使后續(xù)的擬合效果更加準(zhǔn)確，單層膜的厚度鍍制得比較厚，約為200～400nm。為了達(dá)到此厚度范圍，濺射時(shí)設(shè)置較低的工藝走速，且多靶同開，往復(fù)多次鍍膜。
SixNy單層膜樣片的制備：采用歐萊硅鋁靶，根據(jù)濺射室的實(shí)際工藝配置，同時(shí)開3根硅鋁靶（每根靶的使用程度或者說累積功率各不相同），每根功率為50kW；工藝走速為0.8m/min，往復(fù)走2次；工藝氣體配比Ar：N2=600：800sccm。
ZnAlOx單層膜樣片的制備：采用歐萊鋅鋁靶，根據(jù)濺射室的實(shí)際工藝配置，同時(shí)開2根鋅鋁靶（每根靶的使用程度或者說累積功率各不相同），每根功率為40kW；工藝走速為1.3m/min，往復(fù)走2次；工藝氣體配比Ar：O2=450:800sccm。
3.2光譜測(cè)試
3.2.1玻璃基片的光譜測(cè)試數(shù)據(jù)
表1 玻璃基片的透過率(T)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
83.1130 |
740 |
80.8344 |
1100 |
71.4875 |
1460 |
77.6993 |
1820 |
81.0839 |
2180 |
78.9267 |
|
420 |
88.2175 |
780 |
78.2893 |
1140 |
71.6225 |
1500 |
78.9054 |
1860 |
80.9193 |
2220 |
77.1298 |
|
460 |
89.1345 |
820 |
76.0941 |
1180 |
71.9403 |
1540 |
79.8618 |
1900 |
80.7619 |
2260 |
77.8093 |
|
500 |
89.8013 |
860 |
74.7004 |
1220 |
72.2778 |
1580 |
80.6549 |
1940 |
80.7093 |
2300 |
78.5232 |
|
540 |
89.6028 |
900 |
73.3670 |
1260 |
72.8752 |
1620 |
81.1420 |
1980 |
80.6181 |
2340 |
78.7526 |
|
580 |
88.7973 |
940 |
72.4542 |
1300 |
73.6685 |
1660 |
81.4504 |
2020 |
80.5009 |
2380 |
78.4992 |
|
620 |
87.2472 |
980 |
71.9011 |
1340 |
74.6612 |
1700 |
81.5546 |
2060 |
80.4881 |
2420 |
78.1212 |
|
660 |
85.2987 |
1020 |
71.5299 |
1380 |
75.6209 |
1740 |
81.4943 |
2100 |
80.4380 |
2460 |
77.0399 |
|
700 |
83.1817 |
1060 |
71.4314 |
1420 |
76.3056 |
1780 |
81.3159 |
2140 |
80.1420 |
2500 |
75.9466 |
表2 玻璃基片的反射率(R)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
8.8490 |
740 |
7.7126 |
1100 |
6.9090 |
1460 |
7.1440 |
1820 |
7.3950 |
2180 |
7.1133 |
|
420 |
9.0653 |
780 |
7.4408 |
1140 |
6.8164 |
1500 |
7.3524 |
1860 |
7.3623 |
2220 |
6.8416 |
|
460 |
8.9888 |
820 |
7.0704 |
1180 |
6.9024 |
1540 |
7.3561 |
1900 |
7.3150 |
2260 |
7.1036 |
|
500 |
8.9163 |
860 |
7.4870 |
1220 |
6.8780 |
1580 |
7.3749 |
1940 |
7.2480 |
2300 |
6.9603 |
|
540 |
8.7267 |
900 |
7.1453 |
1260 |
6.9171 |
1620 |
7.4544 |
1980 |
7.1830 |
2340 |
7.0180 |
|
580 |
8.5524 |
940 |
7.0748 |
1300 |
6.9639 |
1660 |
7.4195 |
2020 |
7.2173 |
2380 |
6.5496 |
|
620 |
8.3482 |
980 |
6.8809 |
1340 |
6.9229 |
1700 |
7.4046 |
2060 |
7.2792 |
2420 |
7.3975 |
|
660 |
8.1163 |
1020 |
6.9033 |
1380 |
6.9633 |
1740 |
7.4289 |
2100 |
7.2945 |
2460 |
6.7775 |
|
700 |
7.8990 |
1060 |
6.8666 |
1420 |
7.0981 |
1780 |
7.4016 |
2140 |
7.1950 |
2500 |
7.0091 |
3.2.2 SixNy單層膜樣片的光譜測(cè)試數(shù)據(jù)
表3 SixNy單層膜樣片的透過率(T)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
69.3110 |
740 |
76.0510 |
1100 |
59.7670 |
1460 |
73.7700 |
1820 |
71.7880 |
2180 |
65.9030 |
|
420 |
65.6030 |
780 |
69.7370 |
1140 |
61.5250 |
1500 |
74.6860 |
1860 |
70.9500 |
2220 |
64.4320 |
|
460 |
79.7320 |
820 |
63.8380 |
1180 |
63.3530 |
1540 |
75.2350 |
1900 |
70.1510 |
2260 |
64.4290 |
|
500 |
82.7370 |
860 |
59.9230 |
1220 |
65.1930 |
1580 |
75.4840 |
1940 |
69.4940 |
2300 |
64.9830 |
|
540 |
73.6460 |
900 |
57.3310 |
1260 |
66.8630 |
1620 |
75.4200 |
1980 |
69.0040 |
2340 |
65.1250 |
|
580 |
70.9370 |
940 |
56.2040 |
1300 |
68.5280 |
1660 |
75.0100 |
2020 |
68.3950 |
2380 |
64.8990 |
|
620 |
74.3610 |
980 |
56.1760 |
1340 |
70.1650 |
1700 |
74.3710 |
2060 |
68.0310 |
2420 |
64.1300 |
|
660 |
78.9700 |
1020 |
56.8500 |
1380 |
71.5170 |
1740 |
73.6210 |
2100 |
67.6220 |
2460 |
63.3420 |
|
700 |
79.8970 |
1060 |
58.1490 |
1420 |
72.5180 |
1780 |
72.6960 |
2140 |
67.0630 |
2500 |
62.8060 |
表4 SixNy單層膜樣片的膜面反射率(R coat)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
12.0890 |
740 |
9.2421 |
1100 |
15.8790 |
1460 |
7.2343 |
1820 |
15.4210 |
2180 |
20.6260 |
|
420 |
26.1490 |
780 |
13.3880 |
1140 |
13.5000 |
1500 |
7.8747 |
1860 |
16.1030 |
2220 |
20.8520 |
|
460 |
12.2910 |
820 |
17.6720 |
1180 |
11.4050 |
1540 |
8.8155 |
1900 |
16.9840 |
2260 |
21.3410 |
|
500 |
12.1600 |
860 |
21.5220 |
1220 |
9.5560 |
1580 |
9.7634 |
1940 |
17.7940 |
2300 |
21.5030 |
|
540 |
22.9130 |
900 |
22.8690 |
1260 |
8.1448 |
1620 |
10.7590 |
1980 |
18.3010 |
2340 |
21.5530 |
|
580 |
25.0580 |
940 |
22.9520 |
1300 |
7.1951 |
1660 |
11.7630 |
2020 |
18.8330 |
2380 |
22.1740 |
|
620 |
19.4730 |
980 |
22.0790 |
1340 |
6.5793 |
1700 |
12.7800 |
2060 |
19.4400 |
2420 |
22.4730 |
|
660 |
11.9130 |
1020 |
20.4050 |
1380 |
6.3498 |
1740 |
13.6460 |
2100 |
19.8850 |
2460 |
22.3870 |
|
700 |
7.9379 |
1060 |
18.3290 |
1420 |
6.6100 |
1780 |
14.5080 |
2140 |
20.2600 |
2500 |
21.6130 |
表5 SixNy單層膜樣片的玻面反射率(R glass)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
10.3920 |
740 |
8.8055 |
1100 |
11.2800 |
1460 |
7.1799 |
1820 |
13.0640 |
2180 |
16.1580 |
|
420 |
24.0300 |
780 |
11.1540 |
1140 |
10.1400 |
1500 |
7.6201 |
1860 |
13.4140 |
2220 |
15.8750 |
|
460 |
11.6240 |
820 |
13.3810 |
1180 |
9.1073 |
1540 |
8.2753 |
1900 |
14.0390 |
2260 |
16.3580 |
|
500 |
11.5280 |
860 |
15.3170 |
1220 |
8.2267 |
1580 |
8.9563 |
1940 |
14.5370 |
2300 |
16.7110 |
|
540 |
21.7340 |
900 |
15.5410 |
1260 |
7.4757 |
1620 |
9.7760 |
1980 |
14.9140 |
2340 |
16.7720 |
|
580 |
23.4380 |
940 |
15.2490 |
1300 |
7.0404 |
1660 |
10.4590 |
2020 |
15.2870 |
2380 |
17.0020 |
|
620 |
17.8440 |
980 |
14.5260 |
1340 |
6.7112 |
1700 |
11.2240 |
2060 |
15.7370 |
2420 |
16.9940 |
|
660 |
11.1340 |
1020 |
13.6060 |
1380 |
6.6267 |
1740 |
11.8240 |
2100 |
16.1000 |
2460 |
16.3690 |
|
700 |
7.8603 |
1060 |
12.5210 |
1420 |
6.8386 |
1780 |
12.5060 |
2140 |
16.3230 |
2500 |
16.1840 |
3.2.3 ZnAlOx單層膜樣片的光譜測(cè)試數(shù)據(jù)
表6 ZnAlOx單層膜樣片的透過率(T)光譜數(shù)據(jù)
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波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
39.2180 |
740 |
74.1950 |
1100 |
68.4490 |
1460 |
68.2810 |
1820 |
69.9660 |
2180 |
68.7860 |
|
420 |
66.6740 |
780 |
74.3890 |
1140 |
67.6730 |
1500 |
68.9790 |
1860 |
69.8250 |
2220 |
67.3240 |
|
460 |
84.1960 |
820 |
74.1300 |
1180 |
67.0650 |
1540 |
69.6470 |
1900 |
69.6840 |
2260 |
67.9870 |
|
500 |
87.5950 |
860 |
73.8260 |
1220 |
66.6860 |
1580 |
70.1070 |
1940 |
69.7040 |
2300 |
68.7900 |
|
540 |
81.8200 |
900 |
73.0890 |
1260 |
66.4600 |
1620 |
70.4070 |
1980 |
69.7270 |
2340 |
69.3550 |
|
580 |
76.6540 |
940 |
72.1880 |
1300 |
66.5200 |
1660 |
70.4480 |
2020 |
69.6570 |
2380 |
69.1180 |
|
620 |
73.9950 |
980 |
71.2050 |
1340 |
66.7950 |
1700 |
70.4800 |
2060 |
69.7750 |
2420 |
68.5480 |
|
660 |
73.3830 |
1020 |
70.2220 |
1380 |
67.1800 |
1740 |
70.3610 |
2100 |
69.9000 |
2460 |
67.7060 |
|
700 |
73.6350 |
1060 |
69.2790 |
1420 |
67.4780 |
1780 |
70.1700 |
2140 |
69.7370 |
2500 |
67.1900 |
表7 ZnAlOx單層膜樣片的膜面反射率(R coat)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
14.1700 |
740 |
15.0730 |
1100 |
10.7420 |
1460 |
18.7470 |
1820 |
20.3380 |
2180 |
19.1740 |
|
420 |
23.2300 |
780 |
11.9080 |
1140 |
11.9080 |
1500 |
19.1720 |
1860 |
20.1620 |
2220 |
19.0980 |
|
460 |
10.9630 |
820 |
9.4379 |
1180 |
13.0820 |
1540 |
19.5750 |
1900 |
20.2420 |
2260 |
19.0020 |
|
500 |
9.9718 |
860 |
8.1047 |
1220 |
14.1090 |
1580 |
19.7930 |
1940 |
20.2380 |
2300 |
18.6240 |
|
540 |
16.3420 |
900 |
7.1842 |
1260 |
15.2030 |
1620 |
20.0520 |
1980 |
20.0410 |
2340 |
18.6430 |
|
580 |
21.0620 |
940 |
7.0925 |
1300 |
16.0720 |
1660 |
20.2120 |
2020 |
19.8770 |
2380 |
18.4130 |
|
620 |
22.3750 |
980 |
7.5807 |
1340 |
16.7750 |
1700 |
20.3650 |
2060 |
19.8050 |
2420 |
18.0620 |
|
660 |
21.0720 |
1020 |
8.3749 |
1380 |
17.4670 |
1740 |
20.3050 |
2100 |
19.7020 |
2460 |
17.5260 |
|
700 |
18.2960 |
1060 |
9.5941 |
1420 |
18.1290 |
1780 |
20.3560 |
2140 |
19.5730 |
2500 |
17.7530 |
表8 ZnAlOx單層膜樣片的玻面反射率(R glass)光譜數(shù)據(jù)
|
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
波長 |
透過率 |
|
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
(nm) |
(％) |
|
380 |
11.1970 |
740 |
13.2320 |
1100 |
9.3864 |
1460 |
15.2860 |
1820 |
17.2090 |
2180 |
15.7200 |
|
420 |
21.6990 |
780 |
10.4560 |
1140 |
10.0390 |
1500 |
15.8470 |
1860 |
16.9940 |
2220 |
15.1960 |
|
460 |
10.5260 |
820 |
8.6296 |
1180 |
10.7990 |
1540 |
16.3850 |
1900 |
17.0420 |
2260 |
15.4840 |
|
500 |
10.3820 |
860 |
7.9614 |
1220 |
11.4030 |
1580 |
16.7810 |
1940 |
16.9870 |
2300 |
15.2340 |
|
540 |
16.7980 |
900 |
7.3407 |
1260 |
12.0870 |
1620 |
17.1320 |
1980 |
16.8510 |
2340 |
15.0050 |
|
580 |
20.8660 |
940 |
7.2758 |
1300 |
12.8120 |
1660 |
17.2640 |
2020 |
16.6550 |
2380 |
14.9160 |
|
620 |
21.3210 |
980 |
7.5718 |
1340 |
13.4670 |
1700 |
17.4000 |
2060 |
16.5250 |
2420 |
14.5730 |
|
660 |
19.3420 |
1020 |
8.0226 |
1380 |
13.9730 |
1740 |
17.2660 |
2100 |
16.4240 |
2460 |
14.1430 |
|
700 |
16.2920 |
1060 |
8.7369 |
1420 |
14.5310 |
1780 |
17.2870 |
2140 |
16.2350 |
2500 |
14.0780 |
4 膜厚測(cè)試
使用XP-200臺(tái)階儀測(cè)試單層膜樣片的膜層厚度，每個(gè)樣片測(cè)試7次，取平均值，結(jié)果如下：
表9 臺(tái)階儀測(cè)試膜厚結(jié)果
|
樣片 |
膜層厚度 |
|
SixNy單層膜樣片 |
325.9±10.8nm |
|
ZnAlOx單層膜樣片 |
232.5±5.7nm |
5提取光學(xué)常數(shù)和膜厚
5.1玻璃基片光學(xué)常數(shù)的提取
采用code軟件自帶的輔助應(yīng)用程序directdf提取玻璃基片的光學(xué)常數(shù)。將表1、表2所示玻璃的透過率和反射率數(shù)據(jù)依次導(dǎo)入，該程序則自動(dòng)生成玻璃的光學(xué)常數(shù)，如圖2所示（圖中紅色線為折射率虛部，藍(lán)色線為折射率實(shí)部），并自動(dòng)添加進(jìn)code的材料數(shù)據(jù)庫database中。
圖2 玻璃基片的光學(xué)常數(shù)提取結(jié)果
5.2 SixNy光學(xué)常數(shù)和膜厚的提取
使用code軟件提取光學(xué)常數(shù)的步驟依次為：在material中添加材料，玻璃直接從database中導(dǎo)入，SixNy采用Dieletric Background + Kim Oscillator + OJL Interband Transition模型組合自行建立；在layer stacks中構(gòu)建膜層結(jié)構(gòu)air-SixNy-glass-air; 在spectrum 中建立需要擬合的反射光譜和透射光譜，并導(dǎo)入測(cè)試光譜數(shù)據(jù)形成標(biāo)準(zhǔn)曲線；在fit parameters 中導(dǎo)入光學(xué)常數(shù)模型中的所有參數(shù)及其初始值；最后點(diǎn)擊start用軟件自帶的單純形法（downhill）進(jìn)行自動(dòng)擬合，結(jié)果如下（圖示光譜T\R coat\R glass中的紅色線為導(dǎo)入的標(biāo)準(zhǔn)光譜曲線，藍(lán)色線為擬合的光譜曲線）：
圖3 SixNy樣片光譜擬合及光學(xué)常數(shù)和膜厚的提取
5.3 ZnAlOx光學(xué)常數(shù)和膜厚的提取
提取步驟同上，結(jié)果如下（圖示光譜T\R coat\R glass中的紅色線為導(dǎo)入的標(biāo)準(zhǔn)光譜曲線，藍(lán)色線為擬合的光譜曲線）：
圖4 ZnAlOx樣片光譜擬合及光學(xué)常數(shù)和膜厚的提取
6 結(jié)論
SixNy的實(shí)測(cè)膜厚為325.9nm，擬合膜厚為343.1nm，誤差為5.28％；ZnAlOx的實(shí)測(cè)膜厚為232.5nm，擬合膜厚為233.0nm，誤差為0.22％。二者誤差都特別小，均低于6％，這說明擬合過程比較準(zhǔn)確，光譜法提取的光學(xué)常數(shù)具有一定的準(zhǔn)確性。
