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米銥(北京)測試技術(shù)有限公司

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光譜共焦位移傳感器原理
發(fā)布時(shí)間:2018-03-08        瀏覽次數(shù):306        返回列表
 光譜共焦測量原理

混色光是由眾多不同波長光線組成的,我們稱之為光譜。所有不同波長的可見光重疊在一起,形成白光。人類肉眼可見光的波長范圍從400nm (藍(lán)光)到700nm (紅光)。通過透鏡,不同顏色的光不會聚焦到同一個(gè)點(diǎn)上。這種現(xiàn)象稱為色差透鏡錯(cuò)誤或者叫色差透鏡偏差。



眾所周知,自然界的日光屬白光一種,白光不是最純潔的光,而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生,而實(shí)際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料(透鏡)對于不同單色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波長愈短折射率愈大,波長愈長折射率愈?。ㄟ@也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因),同一薄透鏡對不同單色光,每一種單色光都有不同的焦距,按色光的波長由短到長,它們的像點(diǎn)離開透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上(不同的單色光的波長是不同的)這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯(cuò)誤。色差透鏡錯(cuò)誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中,應(yīng)通過特殊處理,盡量消減色差透鏡錯(cuò)誤導(dǎo)致的成像問題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。

一面單透鏡的色差造成對不同波長的色光產(chǎn)生了不同的焦距

對于消色差雙合透鏡而言,可見光的波長近似具有相等的焦距

具有抵消色散屬性的衍射光學(xué)器件可以用來矯正色差


而光譜共焦測量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點(diǎn)。通過使用特殊透鏡,延長不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測物體到透鏡的距離,會對應(yīng)一個(gè)精確波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長,就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。這一過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。

為了得到上述特殊的色差,需要在傳感器探頭內(nèi)使用若干特殊透鏡,用來根據(jù)所需量程將光線分解。最后使用一個(gè)凸透鏡,將傳感器探頭射出的光線聚攏在一條軸線上,形成所謂的焦點(diǎn)軸線。如果不使用凸透鏡,傳感器探頭射出的光將分散開來,測量也就無法進(jìn)行了。




白色光通過一個(gè)半透鏡面到達(dá)凸透鏡。上述特殊色差就在這里產(chǎn)生。光線照射到被測物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡,返回到傳感器探頭內(nèi)的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個(gè)穿孔蓋板上,小孔只允許聚焦最好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜,也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強(qiáng),在CCD感光矩陣上產(chǎn)生一個(gè)明顯的波峰。在穿孔蓋板后面,需要一個(gè)分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個(gè)特制光柵,可以根據(jù)反射光的波長,增強(qiáng)或減弱折射率。因此,CCD矩陣上的每一個(gè)位置,對應(yīng)一個(gè)測量物體到探頭的距離。

在整個(gè)量程上,共可以得到超過30,000個(gè)測量點(diǎn)。這里只計(jì)算光線波長,用以產(chǎn)生測量信號。反射光產(chǎn)生的信號波峰振幅并不在信號測量依據(jù)之內(nèi)。也就是說反射光的光強(qiáng)不會影響測量結(jié)果。 這意味著,無論有多少反射光從被測物體反射回來,測量的距離結(jié)果可能是不變的。因?yàn)榉瓷涔獾墓鈴?qiáng)僅僅取決于反射物體的反光程度。因此,采用德國米銥的光譜共焦傳感器,即使被測物體是強(qiáng)吸光材料,如黑色橡膠;或者是透明材料,如玻璃或者液體,都可以進(jìn)行正常可靠的測量。

光譜共焦位移傳感器與激光位移傳感器的對比:






新技術(shù),新可能

使用光譜共焦測量技術(shù),可以得到超高分辨率。納米級分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長光譜范圍。由于采用檢測焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測量光斑,從而允許測量非常小的被測物體。這也意味著,即使被測表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。

由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測量方式,如激光三角反射式測量,對于小孔往往無能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶趽醴瓷涔獾墓饴?,無法進(jìn)行測量。針對這種小孔測量任務(wù),德國米銥推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測量。

由于測量只使用白光,無需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許最長50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會影響測量精度,甚至使測量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測量方法,探頭到被測物體的距離也有一定限制。

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